產(chǎn)品中心Product Centre
全自動晶圓去膜機
產(chǎn)品型號:NDW280R
(應用于晶圓背膠、包覆、光刻、化學保護、二次減薄等工藝)產(chǎn)品詳情
? 4" - 8"晶圓適用 | ? 可選嵌入式紫外線照射模塊 |
? 可處理薄晶圓 | ? 適應多種膠膜撕除 |
? 兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料 | ? 無需任何耗材 |
? 智能測細籃內(nèi)晶圓 | ? 工控機+Windows系統(tǒng) |
? 專利的機械手去摸技術 | ? SECS/GEM或簡易聯(lián)網(wǎng)能力 |
安全知識